Wafer sorting-晶圓導(dǎo)片機(jī)

Wafer sorting是我司自主研發(fā)、制造的高性能、高穩(wěn)定性、高產(chǎn)出的晶圓分選機(jī)。人工將1個(gè)裝有6寸或8寸晶圓的Cassette與5個(gè)空的open cassette放入到設(shè)備指定的Port上?？赏ㄟ^手動(dòng)或自動(dòng)模式，將晶圓導(dǎo)片到指定的位置里。

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

• 01

  高性能視覺定位系統(tǒng)

• 02

  高性能視覺檢測(cè)系統(tǒng)

• 03

  高精度的高速生產(chǎn)模式

• 04

  滿足多樣的wafer測(cè)試需求

• 05

  高精度的高速生產(chǎn)模式

基本信息

設(shè)備尺寸：1200mm* 1200mm* 2000mm	動(dòng)作流程:  1、人工Cassette 上料； 2、機(jī)器人搬運(yùn)Cassette內(nèi)的Wafer至校準(zhǔn)器 ； 3、校準(zhǔn)器對(duì)Wafer進(jìn)行校準(zhǔn)； 4、機(jī)器人搬運(yùn)校準(zhǔn)器上的wafer至另一個(gè)cassette內(nèi)；
設(shè)備重量：2000KG
支持產(chǎn)品尺寸：6寸
故障率：＜1/3000